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簡(jiǎn)要描述：科氏力氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2026-06-29訪 問(wèn) 量：3582詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類(lèi) | 其他 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,綜合 |
科氏力氣體質(zhì)量流量控制器概述：
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高
◆數(shù)字量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量
基本原理為：一根兩端固定的薄壁測(cè)量管，在中點(diǎn)處以測(cè)量管諧振或接近諧振的頻率（或其高次諧波頻率）所激勵(lì)，此時(shí)，在管內(nèi)流動(dòng)的流體產(chǎn)生科里奧利力，使測(cè)量管中點(diǎn)前后產(chǎn)生方向相反的撓曲，撓曲的大小與流體的質(zhì)量流量成正比。因此，用光學(xué)或電磁學(xué)的方法檢測(cè)測(cè)量管的撓曲量，就可以求得管內(nèi)流體的質(zhì)量流量。
應(yīng)用行業(yè)：
| 玻璃行業(yè) | 太陽(yáng)能 | 大氣監(jiān)測(cè) | 工業(yè)制作 | 石油石化 |
| 煤炭冶金 | 制氣配氣 | 環(huán)保 | 各種儀器分析 | |
科氏力氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)：
| 量程范圍 | 100SCCM～30SLM |
| 測(cè)控范圍 | 量程比50:1 |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <2s |
| 數(shù)字量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.05~0.5Mpa |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB15孔 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
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